Keithley静电计是一种高精度电学测量仪器，凭借其高输入阻抗、低噪声和高灵敏度，广泛应用于微小电流、电压及电阻的精确测量，尤其适用于高阻值材料（如绝缘体、半导体薄膜）的电阻与电阻率测试。正确使用该仪器，不仅能提升测量精度，还能有效避免环境干扰带来的误差。以下是使用Keithley静电计测量电阻的系统方法与关键步骤。

一、测量前的准备工作

1. 预热仪器：开机后应等待10-15分钟，使内部电路达到热稳定状态，避免因温度漂移影响测量结果。

2. 选择合适量程：根据被测电阻的预估阻值（如GΩ级高阻或mΩ级低阻）选择合适的测量量程。量程过大将降低分辨率，过小则可能导致溢出。

3. 校准与补偿：定期使用标准电阻进行仪器校准，并执行零点补偿，以消除系统偏移误差。

二、测量方法的选择

● 两线制测量：适用于高阻值电阻（如GΩ级）。将测试线连接至仪器的Force端子，直接加电压测电流，通过欧姆定律R=V/I计算电阻。此法简单，但引线电阻会影响低阻测量。

● 四线制（开尔文法）测量：推荐用于小电阻测量（如毫欧级）。通过分离电流激励线与电压检测线，静电计仅测量待测电阻两端的真实电压降，有效消除引线电阻影响。操作时需将Sense Mode设置为4-WIRE，并在仪器界面确认“4W”标志出现。

三、具体操作流程

1. 连接设备：将测试夹具或探头正确接入静电计的输出与输入端口，使用屏蔽电缆以减少电磁干扰。

2. 设置参数：

○ 选择“电阻测试”模式；

○ 设定激励源（电压或电流），如加50V电压测高阻，或加恒流测压降；

○ 设置积分时间与滤波参数，以降低噪声波动；

○ 配置钳位值，防止过压损坏样品。

3. 放置样品：确保样品与电极接触良好，避免污染或接触电阻影响结果。

4. 开始测量：启动测试，等待读数稳定（可设定60秒稳定时间），记录电阻值或电阻率数据。

5. 数据处理：对多次测量结果取平均值，分析标准差，确保数据可靠性。

四、注意事项

● 测量高阻材料时，应保持环境干燥、屏蔽良好，避免湿度与漏电流干扰。

● 使用四线制时，电压检测线应尽量靠近被测电阻引脚，避免拾取额外压降。

● 测试完毕后，关闭输出，断开电源，妥善收纳设备。

综上所述，使用Keithley静电计测量电阻，需结合被测对象特性选择合适的测量方法与参数配置。通过规范操作、合理屏蔽与校准，可实现从毫欧到太欧级电阻的高精度测量，为科研与工业测试提供可靠数据支持。