Keithley 6517A与6517B均为高精度静电计/高阻计的代表产品,广泛应用于材料科学、半导体测试、纳米技术及绝缘材料研究等领域。二者均具备超高灵敏度与稳定性,但在技术迭代中,6517B作为6517A的升级版本,在性能、功能与用户体验方面实现了显著提升。以下从多个维度对二者进行系统对比。

一、性能升级:精度与测量能力增强 6517B在电流测量分辨率上达到10aA(10×10⁻¹⁸A),较6517A提升了约一个数量级,使其在超低电流场景下具备更强的探测能力。电阻测量上限也从6517A的10¹⁶Ω提升至10¹⁸Ω,显著拓展了高阻材料的测试范围。此外,6517B具备<3fA的输入偏置电流和最低电流量程下<20μV的负载电压,确保了对微弱信号的精准捕捉与低干扰测量。
二、数据处理与存储能力显著提升 6517B内置电池备份内存缓冲区可存储高达50,000个读数,远超6517A的存储容量,支持更长时间的连续监测与数据记录。其读数速率也大幅提升:内部缓冲器读取速率可达425读数/秒,通过IEEE-488总线向外部传输时可达400读数/秒,极大提升了测试效率,尤其适用于高速数据采集场景。
三、硬件接口与安全性优化 为适应现代连接标准与安全规范,6517B对背板接口进行了多项调整:取消了6517A上的“Ext Trig In”与“MTR Comp Out”BNC接口,数字I/O与联锁(Interlock)接口改用更现代的连接形式,位置亦重新布局,提升了设备的兼容性与操作安全性。
四、功能扩展与系统集成性增强 6517B支持选配插入式扫描卡(如6521/6522),可实现最多10通道的自动扫描测量,便于多样品批量测试。结合8009电阻率测试夹具与KickStart软件,可构建符合ASTM D257标准的完整高电阻率测量解决方案。其内置±1000V电压源、电压反转测量法及四种预设测试序列,进一步简化了高阻、绝缘、击穿等复杂测试流程。
五、软件兼容性与操作体验优化 6517B完全兼容6517A的SCPI命令集,原有软件无需修改即可无缝迁移。同时,其图形化界面更直观,数据处理能力更强,支持GPIB与RS-232双接口远程控制,提升了与自动化测试系统的集成度。
综上所述,Keithley 6517B在继承6517A高精度基因的基础上,通过提升分辨率、增强数据处理能力、优化接口设计与扩展系统功能,实现了从“高性能”到“高效率、高集成”的跨越,是现代高阻与弱电流测量更先进、更全面的选择。
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