只要您按下面的步骤执行，低电流测量调试就并不困难。下面的调试流程假设采用高分辨率 SMU (HRSMU)。如前所述，除非至少选择 10 pA 的测量量程，否则就不能进行 fA 级的测量。如果在低电流测量中遇到麻烦，可通过下面的调试流程找到问题。

1. 不接电缆从 0 V 扫描至 1 V (30 分钟预热后)

a. 检查确保所有 SMU 模块都通过了自校准

b. 执行 SMU 偏置调零

c. 验证有 ±3fA 基线

d. 注: 成功表示 SMU 功能正常

2. 连接探测器电缆，但不接到晶圆片探测器

a. 等待几分钟，让压电效应消散

b. 执行 SMU 偏置调零

c. 检查基线

d. 注: 成功表示电缆没有破损 (泄漏)

3. 把探测器电缆接到探测器的连接器板，但不接到晶圆片探测器上

a. 等待几分钟，让压电效应消散

b. 执行 SMU 偏置调零

c. 检查基线

d. 注: 成功表示连接器板没有泄漏

4. 把晶圆片探测器接到连接器板

a. 等待几分钟，让压电效应消散

b. 带着触针 (不接触晶圆片) 执行 SMU 偏置调零

c. 带着触针 (不接触晶圆片) 检查基线

d. 注: 成功表示晶圆片探测器功能正常

电源工频噪声在低电流测量量程变得更为突出。这意味着要得到无噪声的测量结果，您必须在多个电源工频周期上对低电流测量结果积分。对于使用 ASU 进行的亚 fA 级测量，这成为极严峻的问题。一位实验者曾报告他获得较好 fA 级测量结果的唯一途径是利用周末大楼内绝大多数电气设备关机的机会。