Keithley 6514静电计是一款高精度测量仪器，广泛应用于科研与精密测试领域。为了确保其测量精度，建议每6个月进行一次全面校准。以下是基于原厂手册编制的系统化校准流程。

一、 校准前准备

校准环境的稳定性直接决定结果精度。操作应在温度18-28℃、湿度低于50%的环境下进行，并确保仪器良好接地以隔绝电磁干扰。开机后需预热至少1小时，使内部电路达到热平衡，减少零点漂移。

二、 执行校准流程

6514的校准需按特定顺序进行：偏置电流/电压校准 → 电压校准 → 电流校准 → 电阻校准（电阻需放在最后，以便内部绝缘体放电）。

进入校准模式：
按 SHIFT 键后按 CAL 键，进入主菜单。
使用方向键选择 CAL: UNLOCK，输入密码（默认为 006514）以解锁校准。

偏置与零点校准（关键步骤）：

输入偏置电流校准：在菜单中选 CAL: IOFFSET。将三同轴保护帽（如CAP-31）拧紧至输入接口，按 ENTER 完成。

失调电压校准：选 CAL: VOFFSET。将输入接口短路（使用三同轴电缆将红黑夹短接），按 ENTER 完成。

电流量程校准（以20pA档为例）：
该步骤需要高精度电压源和标准电阻（如5156静电计校准套件）配合。

选择电流（Amps）函数及 20pA 量程。

在 CAL: RUN 提示下，仪器显示 20PA ZERO，确保输入开路或屏蔽，稳定后按 ENTER。

仪器提示 +20PA CAL。按图连接标准电阻（如100GΩ），将电压源设为+2V。根据欧姆定律（I=V/R）计算理论电流值（20pA）。调节仪器读数匹配计算值，按 ENTER。

重复上述步骤进行负极性校准（电压源设为-2V）。

依次对 200pA 至 2μA 等后续量程重复此流程。

电压与电阻校准：
类似电流校准，电压校准需输入已知精确电压值；电阻校准则需连接标准电阻箱。操作时仪器会提示具体连接点和输入值，跟随菜单提示执行即可。

三、 校准后的验证与维护

校准完成后，按 EXIT 退出并保存。建议立即启用自动偏移消除功能，或在温度变化后执行“零点清零”，以消除残余漂移。建议将校准日期与修正系数记录在日志中，并在关机前锁定校准功能（CAL:LOCK）以防误触。