使用网络分析仪进行阻抗测量的方法有3种：

1.反射法：

反射法测量被测件的反射系数（Γx）。 反射系数Γx与阻抗的关系如下：

Γx=（Zx-Zo）/（Zx + Zo）

其中，Zo 是测量电路的特征阻抗（50Ω），Zx 是 DUT 阻抗。根据公式，测得的反射系数跟随阻抗（Zx）变化在–1至1之间变化。在 Zx 等于 Zo 时可获得最高的精度。阻抗越高，反射系数曲线的斜率就越慢，从而导致阻抗测量精度下降。阻抗通过以下公式计算：

Z = 50 x（（1 + S11）/（1-S11））

反射法的阻抗测量范围通常为 2Ω 至 1.5 kΩ（取决于所需的精度和测量频率）。

2.串联直通法：

串联直通法通过将 DUT 连接成“串联传输”来测量阻抗。串联直通在测量高阻抗值时最有效：10％的精度范围约为 5Ω 至 20 kΩ或比反射法高大约十倍。阻抗通过以下公式计算：

Z =（50 x 2）x（（1-S21）/ S21）

3.并联直通法：

并联直通法通过将 DUT 连接成“并联传输”来测量阻抗。这是测试低阻抗值的好方法，通常用于在毫欧范围内进行测量（如电源完整性应用）。 10％的准确度范围为 1 mΩ 至 10 Ω，低于典型的阻抗分析仪可以达到的范围。阻抗通过以下公式计算：

Z =（50/2）x（S21 /（1-S21））

E5061B网络分析仪有增益相位测试端口和S参数测试端口，都可以测试阻抗。