当使用Agilent E5071C矢量网络分析仪进行测量时，若出现测量结果“超差”（即超出允许误差范围或与预期值偏差较大），需系统性排查问题来源，确保测量准确性。以下是科学、规范的超差分析步骤：

一、确认测量设置与参数配置

首先检查仪器的基本设置是否合理。确认起始/终止频率范围是否覆盖被测件工作频段，扫描点数是否足够（建议≥1601点以提升分辨率），中频带宽是否设置过宽导致噪声干扰。若带宽设置为1kHz以上，可能影响小信号测量精度。同时核实S参数选择（如S21用于插损）与显示格式（如LogMag或Smith图）是否符合测试需求。

二、核查校准流程与有效性

校准是保证精度的核心。确认是否执行了正确的校准类型：单端口反射测试需完成Open、Short、Load三步校准；双端口传输测试则必须进行直通（Thru）校准。重点检查校准套件型号（如85032F）是否匹配，接口是否清洁、紧固。校准后若更换线缆或转接头，校准失效。建议使用10dB衰减器作为验证件测试S21，误差应≤0.1dB，否则需重新校准。

三、检查连接与硬件状态

物理连接是常见误差源。检查射频电缆是否弯曲过度（半径≥15cm）、接头是否氧化或松动。确保使用扭矩扳手（0.8N·m）旋紧，避免人为用力不均。确认两端口阻抗均为50Ω匹配，未接入直流电压（射频端口耐受0V直流）。若测量大功率器件，应加装衰减器，并确认未超过仪器最大输入功率。

四、评估外部干扰与环境因素

排除电磁干扰、温度波动等环境影响。仪器应良好接地，远离强辐射源。某些器件（如滤波器、放大器）性能受温度影响，需记录测试环境温度并进行修正。

五、验证仪器自身状态

若上述步骤均无异常，应怀疑仪器或校准件故障。可更换已知良好的线缆与校准件重复测试，或使用另一台E5071C进行比对测量。若误差仍存在，可能需返厂校准或检查内部接收机状态。

六、数据复核与流程追溯

最后，回顾整个测试流程：是否遵循“先校准→再连接DUT→最后测量”顺序？是否在测量后更改过频率或功率设置？确保测试过程可追溯、数据可复现。

通过以上系统性分析，可快速定位E5071C测量超差原因，保障测试结果准确可靠，为研发与生产提供高质量数据支持。