矢量网络分析仪（Vector Network Analyzer, VNA）是微波射频领域中用于测量器件频率响应特性的核心仪器，广泛应用于滤波器、天线、射频电缆、高速互连等器件的研发与生产测试。其中，阻抗测量作为评估信号完整性、实现阻抗匹配的关键环节，直接影响系统的传输效率与稳定性。利用VNA进行阻抗测试，具有高精度、宽频带、可溯源等优势，常用的测试方法主要包括反射法、串联直通法和并联直通法，不同方法适用于不同的阻抗范围和应用场景。

一、反射法：适用于中低阻抗测量

反射法是最基础的阻抗测试方法，基于单端口S参数（S11）测量被测件（DUT）的反射系数Γx。根据传输线理论，反射系数与阻抗之间存在确定关系： Γx=(Zx−Z0)/(Zx+Z0)

其中，Z₀为系统特征阻抗（通常为50Ω），Zx为待测阻抗。通过测量S11，即可反推Zx：

Zx=50×[(1+S11)/(1−S11)]

该方法在Zx接近Z₀时具有最高测量精度，适用于2Ω至1.5kΩ的阻抗范围。当阻抗值过高时，反射系数变化趋于平缓，导致灵敏度下降，测量精度降低。因此，反射法更适合中低阻抗场景，如常规射频器件的输入/输出阻抗测试。

二、串联直通法：拓展高阻抗测量能力

为提升高阻抗测量精度，可采用串联直通法。该方法将DUT以“串联”方式接入传输路径，通过双端口测量S21参数计算阻抗。其原理基于电压分压关系，阻抗表达式为：

Zx=(50×2)×[(1−S21)/S21]

该方法在5Ω至20kΩ范围内可实现约10%的测量精度，测量上限比反射法高出近一个数量级，特别适用于高阻抗滤波器、匹配网络等器件的评估。由于采用双端口测量，受系统失配影响较小，测量稳定性更优。

三、并联直通法：精准捕捉极低阻抗

对于毫欧级低阻抗测量（如电源分配网络、PCB电源平面），并联直通法更为适用。DUT以“并联”方式连接，通过S21参数反推阻抗值：

 Zx=25×[S21/(1−S21)]

该方法在1 mΩ至10 Ω范围内具备良好线性度与精度，广泛应用于电源完整性（Power Integrity）测试。其优势在于对微小阻抗变化敏感，能有效识别PDN中的寄生参数。

四、仪器配置与测试频率范围

以安捷伦E5061B为例，其配备增益-相位测试端口和S参数测试端口，支持上述多种测量方法。增益-相位端口适用于低频高精度阻抗分析（5 Hz–30 MHz），适合电源完整性等低频应用；S参数端口覆盖300 kHz–3 GHz或900 MHz–3 GHz，适合高频射频器件测试。实际应用中需根据DUT特性选择合适端口与测试方法，并结合校准技术（如SOLT、TRL）消除夹具效应，提升测量准确性。 

五、实际应用与挑战

在高速数字系统中，如PCIe 5.0/6.0总线，阻抗控制至关重要。差分阻抗需严格维持在100Ω±10%，否则将引发信号反射与时序抖动，影响数据传输可靠性。VNA可高效完成插入损耗与阻抗联合分析，结合TDR（时域反射）功能，精准定位阻抗不连续点，为PCB设计提供优化依据。

综上，VNA凭借其多方法、宽频带、高动态范围的优势，已成为现代电子系统阻抗测试的核心工具。合理选择测试方法并结合校准与去嵌入技术，可显著提升测量精度与效率，助力高速互连与射频系统的设计与验证。