氮化镓（GaN）器件因其高频、高效率和低导通电阻等优势，广泛应用于开关电源、射频功放等高速电力电子系统中。为准确评估其开关性能，必须对开关过程中的电压、电流波形进行高精度测量。使用是德科技（Keysight）示波器（如MSOX3054T）配合高性能探头，是实现这一目标的关键手段。以下是系统化的测量方法与操作要点。

一、测量前准备与校准

测量前必须确保系统基准准确。首先，对示波器进行内部自检：进入“Utilities”菜单，运行“Self Test”，确认硬件状态正常。其次，进行探头补偿调节——将探头连接至CH1通道并接入示波器的“CAL”校准信号端口，调整探头补偿电容，使方波波形上升沿陡直、顶部平坦，避免因探头失配引入失真。同时，确保测试环境温度在15℃~30℃之间，设备预热30分钟，以保证测量稳定性。

二、探头选择与连接策略

GaN器件开关速度快（可达数ns级），极易产生振铃与过冲，因此探头选择至关重要。建议使用高带宽有源差分探头（如N2790A），其带宽应至少为开关信号最高频率的3~5倍（如测量100MHz开关边沿，探头带宽需≥500MHz），输入电容≤1pF，以减小对被测电路的负载效应。电压测量时，将差分探头跨接在GaN器件的漏源极（Vds）两端；电流测量则配合电流探头（如N2820A）套接在源极路径上。接地优先使用探头附带的接地弹簧（长度≤3cm），以最小化接地回路电感，防止引入高频噪声。

三、示波器参数设置

在是德MSOX3054T上进行如下设置：

1. 触发设置：选用“边缘触发”，触发源选择电压通道，设置合适的触发阈值于开关电平附近，斜率设为“上升沿”或“下降沿”以稳定捕获开关瞬态。

2. 垂直与水平调节：垂直档位设为500mV/div~1V/div（根据Vds幅值调整），水平时基设为5~10ns/div，确保完整显示一次开关过程。

3. 采样率与带宽：将采样率设为≥5GSa/s，启用全带宽模式（500MHz），避免高频成分被滤除。

4. 捕获模式：启用“峰值检测”模式，可有效捕捉开关过程中的毛刺、振铃等瞬态异常。

四、波形分析与关键参数提取

捕获波形后，利用示波器测量功能提取：开通时间（ton）、关断时间（toff）、上升/下降时间（tr/tf）、开关损耗（通过积分V×I波形）、振铃频率与幅值等。通过分段测量与参数统计，评估GaN器件在不同工况下的动态性能。

综上，通过科学的探头选型、严谨的校准流程与合理的示波器设置，是德示波器能够精准揭示GaN器件的高速开关特性，为电力电子系统优化提供可靠数据支撑。