电力需求:220VAC10V/50Hz/2.2KW;工作环境:开放式;产品尺寸:WDHmm1660 x 1770 x 1015 ; 1660 x 1700 x 1455; 设备重量:1700kg
产品概要
支持Sic/Gan晶圆测试,大功率晶圆测试; 更换Chuck设计,可针对不同晶圆测试; 可与仪器仪表系统进行集成; 可升级高低温测试环境测试

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