水平旋转

可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置

X-Y移动行程

4英寸*4英寸

X-Y移动精度

10微米

样品台Z轴调节

可升降10mm

样品固定

真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环

针座平台

U型针座平台，最多可放置6个探针座

背电极测试

样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极

外形尺寸

400mm长*400mm宽*500mm高

重量

约25千克

放大倍率

16X-200X

移动行程

水平方向绕立柱360度旋转，Z轴50.8mm

光源

外置LED无极调节亮度环形光源

CCD

200万像素/500万像素/1200万像素

移动精度

10um/2um/0.7um/0.5um

吸附方式

磁力吸附/真空吸附

线缆

同轴线/三轴线

漏电精度

10pA/100fA/10fA

固定探针

弹簧固定/管状固定

接头类型

BNC/三同轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

针尖直径

0.2um/1um/2um/5um/10um/20um

针尖材质

钨钢/铍铜